產(chǎn)品簡介

BASIXX ST20 +是一款桌面式勻膠機系統(tǒng)，性價比高，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

產(chǎn)品特色

÷ 桌面版本的緊湊型設計

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達?200 mm (?8 inch) 或150x150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅(qū)旋涂電機

÷ 全軸電機驅(qū)動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 可更換并易于拆卸的工藝腔和防濺環(huán)，方便清潔。

÷ 系統(tǒng)材料可抵抗所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升廢液瓶

技術(shù)數(shù)據(jù)

÷ 襯底尺寸: 最大可達?200 mm (?8 inch) 或150 x 15 mm (6x6inch)

÷ 電機轉(zhuǎn)速: 最大10.000rpm，步長1rpm

÷ 電機加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步進時間: 1至999.9s，步長為0.1s

÷  工作腔材料: PP 

÷  系統(tǒng)架構(gòu)材料: PP 

÷  液體線路：

    3線: 2x24 V/ 最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點0.1秒-∞

    5線: 6x24 V/ 最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點0.1秒-∞

選項

÷自動液體輸送臂     ÷液體罐        ÷ 防濺環(huán)

÷ 廢液池           ÷ DI水沖洗     ÷ N2吹掃

÷熱板           ÷不同類型的夾具   ÷ 中心定位模塊